DTU Nanolab Danmark skifter 291 FFU'er i renrum

Som næsten alle faciliteter af denne type lider DTU Nanolab under høje energiomkostninger til driften af deres renrum. Infrastrukturen for ventilatorfilterenhederne, de HEPA-filtre, der bruges i enhederne, samt styringen af hele systemet er blevet identificeret som en vigtig hjørnesten for at opnå energibesparelser. De ventilatorfilterenheder, der er i brug i øjeblikket, har været i brug i 15 år og er ikke state-of-the-art med hensyn til energieffektivitet, systemintegritet og støjniveau. Baseret på AAF's stærke image inden for halvlederindustrien og lange erfaring med tusindvis af installationer af FFU'er og ePTFE HEPA-filtre med lavt energiforbrug foreslog AAF en overbevisende løsning - med bæredygtig succes.

AstroFan FFU-modulet består af et aluminiumshus, der indeholder en højtydende indkapslet AAF Optimized direkte drevet bagudkrummet EC-ventilator/motor-kombination og et udskifteligt AAF HEPA- eller ULPA-filter. Hele huset er let at dekontaminere og modstandsdygtigt over for desinfektionsmidler. Huset forsegler og hviler på de anodiserede aluminiumsprofiler på AAF HEPA- eller ULPA-filteret. 

Den mest effektive ULPA-filterteknologi til mikroelektronik
Ved fremstilling af mikroelektronik er luftens og produktets renhed afgørende for korrekt doping af halvledere. Ligesom partikler kan visse elementer påvirke de integrerede kredsløbs elektriske egenskaber negativt og dermed påvirke udbyttet. Traditionelle borosilikatglasmedier er en potentiel kilde til borforurening, selv med »lav-bor«-glasmedier. Fosfor kan findes i flammehæmmere i visse polyuretanforseglingsmidler, der bruges til at forsegle mediepakken til filterrammen. Derfor er MEGAcel II ME bygget og testet bor- og fosforfri. I over 20 år har MEGAcel II ME været den gyldne standard for mini-miljøhuse til filtreringssystemer til halvlederværktøjer.

Højeffektiv HEPA/ULPA FFU med modulært design

•  Fås i 7 standardstørrelser
• Letvægtshus i aluminium
• Lavt lydniveau
• Velegnet til alle ISO-renrumsklasser
• Velegnet til turbulent og laminært flow
• Velegnet til en lang række AAF HEPA- og ULPA-filtre
• Fås med EC RS-485, 0-10 Volt og MODBUS RTU-kontrolinterface
• Mere information om FFU'en

Fuldt integrerede kontrolsystemer helt ned til den enkelte FFU
Ud over luftfiltre og ikke-drevne forsyningshuse kræver visse anvendelser også enhedsspecifik kontrol af luftstrømmens hastighed og konsistens i store produktionsrum. Ventilatorfilterenheder, især når de kombineres med robuste elektroniske styresystemer, hjælper med at sikre integriteten af produktionsprocesserne i disse applikationer og maksimerer den samlede systemøkonomi.

MEGAcel^® II ME Membranfiltre

•  Giver ultrahøj effektivitet med det laveste trykfald
• Høj modstandsdygtighed over for ætsende miljøer (syrer, baser og organiske stoffer)
• Laveste tilgængelige afgasningsegenskaber
• Medier med høj trækstyrke, mere modstandsdygtige over for hårdhændet håndtering under transport og installation
• Opfylder I300I-specifikationerne og er UL 900- og ULC S111-klassificeret
• Mere information om MEGAcel II ME

291 ventilatorfilterenheder (FFU'er) er ved at blive udskiftet i renrummet med en forventet færdiggørelsesdato i maj 2022. De nye FFU'er er mere støjsvage end de eksisterende FFU'er og vil spare 122.000 kWh/år, svarende til ca. 268.000 kr/år.